Stage: Etude de la gravure plasma de matériaux chalcogénures et strippings associés H/F CEA

Les réalisations technologiques des PCRAM sont en partie élaborées dans les salles blanches du Département Plate-Forme Technologique du CEA-Leti. C’est au cœur de ce département applicatif que se déroulera le stage. L’objectif sera d’étudier le comportement de matériaux chalcogénures lors de gravures effectuées dans un réacteur plasma ainsi que l’impact sur ces derniers de strippings et de nettoyages associés. Le stage sera réalisé dans un environnement Salle Blanche. Il sera demandé d’étudier les effets de la gravure plasma de différents matériaux chalcogénures (différents alliages de GeSbTe dit GST) en fonction de paramètres plasma tels que gaz, pression, puissances. La gravure étant associée à un stripping et un nettoyage, ces derniers seront des parties intégrantes de l’étude. Les études porteront tant sur un point de vue morphologique que physico-chimique. Ainsi, nombreux moyens de caractérisations seront disponibles sur la plate-forme pour ce faire : contrôles dimensionnels, observations en coupe par microscopie, mesure d’épaisseur par ellipsométrie, nature chimique du matériau par spectroscopie, etc... Les résultats et analyses seront consolidés par une étude bibliographique sur le sujet. Vous travaillerez en autonomie, de manière transverse avec les équipes procédés et caractérisations. Des connaissances sur les matériaux, la physique des plasmas et la microélectronique seront appréciées, sans négliger les qualités relationnelles nécessaires à coordonner l’étude. Envoi des CV et LM : carole.socquet-clerc@cea.fr PROFIL DU CANDIDAT Bac+5 Master 2/Ingé 3ème année Matériaux, physique LOCALISATION DU POSTE SITE Grenoble LOCALISATION DU POSTE France, Auvergne-Rhône-Alpes, Isère (38) VILLE GRENOBLE CRITÈRES CANDIDAT DIPLÔME PRÉPARÉ Bac+5 - Master 2 POSSIBILITÉ DE POURSUITE EN THÈSE Oui DEMANDEUR DISPONIBILITÉ DU POSTE 07/02/2022